【制造/封测】赛微电子：北京FAB3代工制造的BAW滤波器通过验证并启动试产

6月13日，赛微电子发布公告称，公司控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司（简称“赛莱克斯北京”或“北京FAB3”）代工制造的某款BAW（Bulk Acoustic Wave，带谐振腔体声波滤波器，包括BAWSMR-固体安装谐振器和FBAR-薄膜体声波谐振器）已于12日通过了客户验证。

公告显示，经过对该批次BAW滤波器进行频段抑制、带内插损、电压驻波比等性能测试及高加速温湿度应力、高低温贮存寿命、机械及跌落冲击等可靠性验证，性能、良率均达到或优于设计指标要求，与国际射频巨头厂商的同类别产品指标相当。该客户已同步签署试产订单，北京FAB3启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量试生产。

据公告介绍，赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司，主要从事MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）的生产代工业务。

赛微电子表示，本次BAW滤波器的验证通过和启动试产，标志着北京FAB3在MEMS高频通信器件领域的专业制造能力达到一个新的里程碑，公司技术团队将继续努力奋斗，持续改进工艺、提高良率，尽快实现BAW滤波器的规模量产。尽管已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破，但公司北京FAB3仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。

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